无尘室工程案例

34次 2016/3/26 11:35:11

　案例一：生物医药 GMP 无尘室改造项目

项目概况：

面积 1280㎡，层高 4.5m，涵盖 B 级无菌制剂区与辅助功能区，需满足 GMP 附录 1 及 ISO 14644-1 标准要求。

核心需求与难点：

原车间粒子浓度、沉降菌及压差梯度不达标，彩钢板与 FFU 密封条老化，存在漏尘风险；空调系统冷热抵消，能耗高。

解决方案：

系统升级：重构净化空调系统，新增中效 + 高效（H13 级）三级过滤，优化气流组织，建立≥12.5Pa 的正压梯度。

结构焕新：更换老化彩钢板与密封条，拼缝采用专业密封胶处理，筑牢无泄漏密封防线。

节能优化：采用变频控制与热回收技术，降低能耗占比。

案例二：电子半导体晶圆无尘室项目

项目概况：

面积 3200㎡，包含百级、千级、万级多等级洁净区，用于芯片光刻、封装等核心工序，对温湿度与洁净度精度要求极高。

核心需求与难点：

核心区需形成垂直层流，控制颗粒污染与静电干扰；多区域压差梯度需精准匹配工艺动线；温湿度波动需控制在 ±0.5℃、±3% RH 范围内 [12]。

解决方案：

分区布局：采用三维协同设计，明确核心工艺区、辅助区、物流区，规划无交叉人流物流路径 [12]。

气流组织：核心区配置 FFU 风机过滤单元 + HEPA 高效过滤器，实现顶部均匀送风、两侧下回风，构建无涡流单向流场 [12]。

材料与控制：地面选用导电环氧自流平（体积电阻 10⁶-10⁹Ω），搭配防静电彩钢板；配置高精度自控系统，实时调节温湿度与压差。

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